مقاله ساخت نانو سيم هاي ژرمانيم به روش نشست بخار شيميايي (CVD)

    —         —    

ارتباط با ما     —     لیست پایان‌نامه‌ها

... دانلود ...

بخشی از متن مقاله ساخت نانو سيم هاي ژرمانيم به روش نشست بخار شيميايي (CVD) :

سال انتشار: 1386

محل انتشار: دومین همایش دانشجویی فناوری نانو

تعداد صفحات: 5

نویسنده(ها):

بهرام گنجی پور – پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه کاشان، ایران
مصطفی زاهدی فر – پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه کاشان، ایران
فاطمه حسین مردی – پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه کاشان، ایران

چکیده:

در این تحقیق نانو سیمهای ژرمانیم در بازه دمایی بین 250 تا 350 درجه سلسیوس با روش نشست بخار شیمیایی رشد داده میشود. نانو ذرات طلا به عنوان کاتالیست با استفاده از ماده 3- آمینوپروپیل تری اتیل سیلان (APTES) روی سطح ویفر نشانده می شوند. تتراکلرید ژرمانیم (GeCl4) به عنوان منبع تامین ژرمانیم و گاز آرگون با فلوی sccm 180 به عنوان گاز حامل مورد استفاده قرار گرفته است. همچنین نقش سایر کاتالیست وزمان رشد به عنوان عوامل موثر دررشد نانو سیم ها و اثر دما برای بدست آوردن دمای بهینه جهت رشد سیمهای ژرمانیم مورد بررسی قرار گرفته است. در نهایت تصاویر میکروسکوپ الکترونی (SEM) گرفته شده از نمونه هایی که در شرایط متفاوت رشد داده شده اند نشان دهنده تاثیر سایز کاتالیست و زمان بر رشد طولی و قطر نانو سیم هاست. طیف پراش پرتو ایکس (XRD) نشان دهنده رشد کریستالهای نانو سیمهای ژرمانیم می باشد.

لینک کمکی